三、超高真空擋板閥參數(shù)
類型： 擋板閥
驅(qū)動(dòng)方式： 手動(dòng)/氣動(dòng)
法蘭形式： CF
閥體材料： 不銹鋼
適用真空： 超高真空
適用范圍：1×10-6pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
打開時(shí)閥板上的壓差：≤1.2×105a 任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：800，000次
閥體烘烤溫度：打開時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
壓縮空氣：0.4～0.7MPa
閥門開閉時(shí)間：≤1s
閥門位置指示：
手動(dòng)驅(qū)動(dòng)：帶有啟閉位置指示
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）