三、大型高真空擋板閥參數(shù)
類型： 擋板閥?
驅(qū)動(dòng)方式： 氣動(dòng)?
法蘭形式： LF GB-LP?
閥體材料： 不銹鋼?
適用真空： 高真空?
適用范圍：
5.3×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）
5.3×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
打開時(shí)閥板上的壓差：5.3×10-6Pa～1.2×105Pa任意方向
閥體和閥座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置：密封面朝向真空
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
壓縮空氣：0.5～0.7MPa
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間：≤5s
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）