羅茨真空泵(稱為羅茨真空泵)是旋轉(zhuǎn)變量真空泵。它是從羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的。根據(jù)羅茨真空泵的工作范圍，將其分為具有直排氣環(huán)境的低真空羅茨真空泵，中真空羅茨真空泵(也稱為機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨真空泵。
羅茨真空泵的功能特點(diǎn)
1、在很寬的壓力范圍內(nèi)具有很高的抽速;
2、快速啟動(dòng)，可以立即工作;
3、對(duì)泵送氣體中包含的灰塵和水蒸氣不敏感;
4、 轉(zhuǎn)子泵室內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑，無(wú)油;
5、低振動(dòng)，轉(zhuǎn)子良好的動(dòng)平衡條件，無(wú)排氣門;
6、驅(qū)動(dòng)力小，機(jī)械摩擦損失小;
7、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小;
8、較低的運(yùn)營(yíng)和維護(hù)成本。
因此，羅茨真空泵廣泛用于冶金，石化，造紙，食品和電子行業(yè)。
羅茨真空泵的工作原理
在泵室中，兩個(gè)“
8”形的轉(zhuǎn)子s彼此垂直安裝在一對(duì)平行軸上，一對(duì)傳動(dòng)比為1的齒輪帶以相反的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)運(yùn)行。在轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子和泵殼的內(nèi)壁之間有一定的間隙，以實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行。由于羅茨真空泵是沒有內(nèi)部壓縮的真空泵，因此壓縮率通常很低，因此高真空泵和中真空泵需要前級(jí)泵。
羅茨真空泵的極限真空度取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度以及前級(jí)泵的極限真空度。為了提高泵的極限真空度，可以串聯(lián)使用羅茨真空泵。
羅茨真空泵的工作方式類似于羅茨鼓風(fēng)機(jī)。由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，泵送的氣體從進(jìn)氣口被吸入轉(zhuǎn)子和泵殼之間的空間v0，然后通過排氣口排出。由于v0空間在吸入后完全封閉，因此氣體不會(huì)在泵室內(nèi)壓縮和膨脹。但是，當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部翻過排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側(cè)連通時(shí)，由于排氣側(cè)較高的氣壓，一部分氣體返回到空間v0，這樣氣壓突然變成增高
。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體離開泵。
羅茨真空泵轉(zhuǎn)子從0°到180°的抽吸過程。在0°位置，下部轉(zhuǎn)子封閉了來(lái)自泵進(jìn)口的v0體積的氣體。當(dāng)旋轉(zhuǎn)至45°位置時(shí)，腔室與排氣口連通。由于排氣側(cè)的高壓，一部分氣體返回。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)，由轉(zhuǎn)子包圍的氣體將與返回的氣體一起排放到泵的外部。此時(shí)，上部轉(zhuǎn)子還密封了來(lái)自泵入口的v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)達(dá)到135°時(shí)，由轉(zhuǎn)子封閉的氣體將連接到排氣口，并重復(fù)上述過程。
180°位置與0°位置相同。
轉(zhuǎn)子在主軸旋轉(zhuǎn)一圈時(shí)，總共排出了四個(gè)v0體積的氣體。