5.真空系統(tǒng)外大氣通過器壁材料滲透到系統(tǒng)內(nèi)的氣體：

氣體在固體中也會(huì)發(fā)生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結(jié)構(gòu)材料會(huì)向真空系統(tǒng)內(nèi)滲透部分氣體。這種滲透在一般的金屬系統(tǒng)下可以不考慮，但部分應(yīng)用在玻璃真空系統(tǒng)或薄壁金屬系統(tǒng)會(huì)需要考慮滲透氣體帶來的影響。?

?真空系統(tǒng)在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)建設(shè)過程中需要注意的十個(gè)方面：??

一、結(jié)構(gòu)材料選擇標(biāo)準(zhǔn)的無縫鋼管和板材，減少焊接結(jié)構(gòu)，提高真空部件的氣密性。對于需要進(jìn)行焊接結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)元件，應(yīng)針對性的選擇焊接性能好的鋼材。

二、合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu)，提高焊接工藝質(zhì)量。焊接是真空系統(tǒng)建設(shè)過程中的一道重要工序，焊接結(jié)構(gòu)要避免處于真空中的焊縫有污物積存的空隙。如果出現(xiàn)污物積存或空隙，不僅會(huì)給清洗造成困難，還會(huì)成為真空系統(tǒng)中緩慢放氣的氣源。如果焊縫出現(xiàn)死空間，就會(huì)成為難以找到漏隙所在。

三、避免出現(xiàn)隔離孔穴（氣袋），或?yàn)槠溟_設(shè)出氣孔，便于快速抽真空。氣袋會(huì)成為緩慢放氣的源泉，增長了抽氣時(shí)間。

四、最好能對真空系統(tǒng)內(nèi)的構(gòu)件及內(nèi)壁進(jìn)行電鍍拋光、氧化處理等，減少表面放氣。不同的真空環(huán)境對內(nèi)壁粗糙度的要求也不相同，原則上要求處于真空系統(tǒng)內(nèi)的構(gòu)件和殼體內(nèi)壁表面是越光潔越好（一般高真空的內(nèi)壁粗糙度Ra為6.3～3.2；中真空的內(nèi)壁粗糙度Ra為12.5左右；超高真空的內(nèi)壁要求拋光，達(dá)到非常光潔的表面。另外需要注意，生銹的金屬表面對抽真空十分不利。

五、法蘭連接先焊接后加工，保證尺寸、粗糙度要求以及氣密性。焊接時(shí)容易引起法蘭變形，因此目前國內(nèi)都采用焊接后再對法蘭加工，這樣既可達(dá)到尺寸和粗糙度的要求，又能保證兩個(gè)法蘭連接時(shí)密封可靠。

六、高溫度下工作的真空橡膠密封圈，可采用水冷結(jié)構(gòu)加以保護(hù)，防止部件部件損壞或壽命變短。

七、真空系統(tǒng)元件及真空室殼體器壁需滿足一定厚度，以滿足其有足夠的強(qiáng)度保證不會(huì)在內(nèi)力外力作用下發(fā)生變形（滿足內(nèi)外部打壓，3個(gè)大氣壓下不變形）。實(shí)際應(yīng)用中，真空容器一般采用圓形結(jié)構(gòu)較好；而端蓋采用凸形結(jié)構(gòu)為好。

八、保證由外部進(jìn)入真空室內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng)件或移動(dòng)件的動(dòng)密封性能。除了選擇好的密封結(jié)構(gòu)外，其中的軸或桿一定要滿足粗糙度要求，防止軸和桿上無軸向劃痕，這種劃痕會(huì)引起氣體泄漏，降低系統(tǒng)的真空度，且不易被發(fā)現(xiàn)。

九、真空系統(tǒng)上測量規(guī)管座位置的安排應(yīng)遵循如下原則：a.不能將測量規(guī)管放在密封面較多的地方。因?yàn)槊恳粋€(gè)密封面都不可能保證絕對不漏氣，密封面集中之處，必然是容易漏氣的地方，測量值可能不準(zhǔn)。b.規(guī)管內(nèi)壁各處，必須保證真空衛(wèi)生，否則會(huì)造成測量不準(zhǔn)。c.規(guī)管應(yīng)盡量接在靠近被測量的地方，以減少測量誤差。

十、真空室殼體上的水套結(jié)構(gòu)，要保證水流暢通無阻，更不能出現(xiàn)死水，造成局部過熱。因此進(jìn)出水管位置要一下一上，且設(shè)置流水隔層，使水沿一定的路線流動(dòng)。