一、超高真空插板閥：

此閥門分為手動、氣動、電動三種驅(qū)動，在結(jié)構(gòu)設(shè)計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。閥門以手轉(zhuǎn)動手柄為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動體沿軸向運動，驅(qū)動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關(guān)閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、超高真空插板閥特點

軸封有波紋管密封和氟橡膠密封兩種可選擇，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設(shè)計；

閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；

閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀；

采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu)，運動平穩(wěn)；閥板整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

三、超高真空插板閥性能指標(biāo)

類型： 插（閘）板閥?

驅(qū)動方式： 手動、氣動、電動

閥體材料： 不銹鋼?

適用真空： 超高真空?

適用范圍：

1×10-5Pa～1.2×105Pa（全部氟膠圈密封）

1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）

閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s-1

首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：100，000次

安裝位置：任意

打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向

閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關(guān)閉時≤150℃

超高真空插板閥閥門位置指示：

手動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示（機(jī)械式）

氣動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）

電動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示開關(guān)（微動開關(guān)）