真空系統(tǒng)用何種真空泵，首先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求,其次應(yīng)對(duì)該泵性能特點(diǎn)有詳細(xì)了解,比較了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后,再?zèng)Q定之,?這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵,現(xiàn)將我國(guó)生產(chǎn)的各種類型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡(jiǎn)略比較它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn),看來(lái)是必要的。
一、油封機(jī)械泵
現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級(jí),抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產(chǎn)品。
滑閥泵分單級(jí)(H型)、雙級(jí)(2H型)。?抽速:H型為8?~?600升/秒;2H型為8~?70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。
余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產(chǎn)。
這類泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮(zhèn)時(shí))低-個(gè)數(shù)量級(jí)。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速,當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)下降時(shí)抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。
二、機(jī)械增壓泵(羅茨泵)
工作壓強(qiáng)范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~?2000升/秒,我國(guó)已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級(jí)泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級(jí)泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強(qiáng)范圍較寬,最大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托,油增壓泵1?~?2托)?,返流油蒸氣很少,用它抽除含有水蒸等可凝性氣體時(shí)較合適。
三、油增壓泵
工作壓強(qiáng)范圍1?~1x10-4托,常用范圍在0.1~?1x10-2托,抽速范圍200~40000升/秒,彌補(bǔ)了機(jī)械泵、擴(kuò)散泵在此壓強(qiáng)范圍內(nèi)抽速小的缺陷。對(duì)惰性氣體與其他氣體有相同的抽速。
四、油擴(kuò)散泵
普通油擴(kuò)散泵的工作壓強(qiáng)范圍10-2~5x10-7托,常用范圍10-8~?5x10-6托,抽速范圍20~?100000升/秒,金屬，玻璃結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散泵均成系列生產(chǎn)。超高真空油擴(kuò)散泵極限壓強(qiáng)約為10-10托,除結(jié)構(gòu)與普通油擴(kuò)散泵略有一點(diǎn)差異外?,主要是工作液不同,結(jié)構(gòu)材料不同,即用275硅油等作泵液,結(jié)構(gòu)材料用不銹鋼。新設(shè)計(jì)的超高真空泵差異就較大了。