干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用與發(fā)展。國(guó)外的干泵市場(chǎng)正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。

　　為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有螺桿式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。

　　1、干式真空泵的介紹及原理

　　此為立式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。

　　干式真空泵工作時(shí)，相互之間無(wú)摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

　　備品備件是標(biāo)準(zhǔn)的O型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵，并且無(wú)需過(guò)濾器。最優(yōu)化的螺桿外形設(shè)計(jì)使功率消耗降到最低，簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)可使泵腔在1小時(shí)內(nèi)在現(xiàn)場(chǎng)全部解體，易于清洗維護(hù)。

　　2、獨(dú)特的冷卻方式

　　很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的間隙變小，另外一個(gè)原因是由于長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子會(huì)由于熱脹冷縮而發(fā)生形變，造成泵的卡死。

　　干式真空泵的冷卻方式：

　　目前干泵多用夾套冷卻水對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。

　　3、抽除易燃易爆及腐蝕性介質(zhì)怎么辦?

　　眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來(lái)延緩腐蝕速率。

　　但是由于干式真空泵運(yùn)行時(shí)內(nèi)部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來(lái)處理腐蝕性介質(zhì)對(duì)無(wú)油干式真空泵是不適合的。

　　此外使用鐵劑金屬鍍鎳涂層材質(zhì)，一旦出現(xiàn)細(xì)微的裂紋就會(huì)導(dǎo)致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。那么是不是只要特殊設(shè)計(jì)能可靠地控制溫度的設(shè)備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài)，沒(méi)有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了?答案是肯定的。該泵應(yīng)用其自身先進(jìn)的冷卻系統(tǒng)，可以調(diào)整泵腔內(nèi)及轉(zhuǎn)子的溫度，使之沒(méi)有離子形式存在，全都?xì)饣?，從而避免腐蝕。所以此螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

　　評(píng)價(jià)爆炸有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒(méi)有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒(méi)有了火源，另外其通過(guò)自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆炸!

　　4、干式真空泵的密封

　　泵內(nèi)既無(wú)與外界之間的軸封又無(wú)泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有毒有害介質(zhì)

　　絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個(gè)軸只有一處無(wú)接觸密封，不存在由軸封損傷帶來(lái)的停機(jī)，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環(huán)境及排氣口污染。

　　5、控制系統(tǒng)的組成

　　干式真空系統(tǒng)還具有最佳的控制系統(tǒng)，有獨(dú)立的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、電機(jī)同步、開(kāi)停機(jī)、閥門(mén)開(kāi)關(guān)和泵本身自清洗控制等問(wèn)題，并且可能存在溫升的地方都增加了測(cè)溫點(diǎn)，增強(qiáng)了系統(tǒng)的安全性。使干泵系統(tǒng)能適應(yīng)化工、制藥里最嚴(yán)苛的環(huán)境。

　　主要由以下三部分組成：內(nèi)置基本驅(qū)動(dòng)模塊;數(shù)據(jù)總線控制柜;冷卻液泵的控制和防爆馬達(dá)控制中心。

　　6、干式真空泵的特點(diǎn)

　　有些真空泵是兩個(gè)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)，在確保全速和扭矩控制的同時(shí)，保證在泵運(yùn)行時(shí)維持無(wú)部件相互接觸;

　　無(wú)密封設(shè)計(jì)，確保無(wú)泄露;

　　通過(guò)對(duì)內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng);輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。

　　1)清潔環(huán)保;

　　2)真空度高;

　　3)防腐設(shè)計(jì);

　　4)可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體;

　　5)特殊軸封設(shè)計(jì)，杜絕被抽介質(zhì)與潤(rùn)滑系統(tǒng)互相污染;

　　6)防過(guò)載設(shè)計(jì);

　　7)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn);

　　8)高標(biāo)準(zhǔn)配置;

　　9)附件配置齊全

　　10)優(yōu)質(zhì)健全的零配件供應(yīng)。