1.適宜的粘度和良好的粘溫特性：液環(huán)真空泵室的內(nèi)容積不斷變化形成排氣作用，潤(rùn)滑油需要適宜的粘度和粘溫特性。
2.極低的蒸汽壓：這是真空潤(rùn)滑油的一大特性，因?yàn)檎婵毡脤?duì)真空度的要求很高，一般使用石蠟類窄餾分潤(rùn)滑油，擴(kuò)散真空泵也可以使用蒸汽壓低的硅油或其他合成油。
3.良好的耐腐蝕性和耐乳化性：如果是真空泵的腐蝕性氣體，會(huì)與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)的零件，使空氣中含有水蒸氣冷凝水，引起潤(rùn)滑油的乳化和金屬腐蝕，要求潤(rùn)滑油具有良好的耐腐蝕性和耐乳化性。
4.良好的熱氧化穩(wěn)定性：由于滑板和泵體的高速摩擦，油溫上升，油品容易氧化分解，特別是擴(kuò)散泵在高溫環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)的蒸汽壓上升，降低真空度。因此要求潤(rùn)滑油具有良好的熱氧化穩(wěn)定性。
5.低臨界壓力：臨界壓力是潤(rùn)滑油的重要使用性能指標(biāo)。此外，為了不影響潤(rùn)滑油的飽和蒸氣壓，水環(huán)真空泵在使用中請(qǐng)勿含有輕量成分。