螺桿真空泵是容積式真空泵的一個(gè)新成員，出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代左右，發(fā)展較晚。然而，螺桿真空泵作為一種理想的干式泵，自問(wèn)世以來(lái)發(fā)展迅速?，F(xiàn)在跟隨小編去理解它的基本知識(shí)!
一、螺桿真空泵的特點(diǎn)
螺桿真空泵源于螺桿式壓縮機(jī)和螺桿式液體輸送泵。它是容積式真空泵中理想的干式真空泵。它能提供一個(gè)清潔和無(wú)油的真空環(huán)境，并對(duì)腐蝕性氣體、可冷凝蒸汽和含有灰塵顆粒的氣體有很強(qiáng)的適應(yīng)性。因此，螺桿真空泵在電子半導(dǎo)體、制藥、石油化工等行業(yè)受到青睞。對(duì)清潔的真空環(huán)境和復(fù)雜的氣體成分有嚴(yán)格的要求，逐漸成為傳統(tǒng)油封機(jī)械泵和液環(huán)泵的替代產(chǎn)品。
螺桿真空泵通過(guò)一對(duì)不對(duì)稱螺旋轉(zhuǎn)子的反向運(yùn)動(dòng)，周期性地改變齒間容積，實(shí)現(xiàn)氣體輸送，達(dá)到抽氣的目的。它具有以下特征：
1、清潔無(wú)油，多相混合運(yùn)輸，適應(yīng)性廣。螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子之間有嚴(yán)格的差距。泵室內(nèi)沒(méi)有油。它可以泵出腐蝕性氣體、有毒氣體、灰塵、可冷凝蒸汽和其他復(fù)雜氣體。
2.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)平衡好，可靠性高。螺桿真空泵零件少，核心零件無(wú)易損件，無(wú)不平衡慣性力，運(yùn)行可靠，使用壽命長(zhǎng)。
3.由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零件少，易于操作、維護(hù)和保養(yǎng)。
4.強(qiáng)制氣體輸送可以確保在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的泵送速度，并且排氣體積幾乎不受排氣壓力的影響。
二。螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)
螺桿真空泵通常是雙螺桿結(jié)構(gòu)。螺桿真空泵是一種抽氣裝置，它利用一對(duì)不對(duì)稱的螺旋轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)進(jìn)行同步、高速的反向操作，并周期性地改變齒間的容積，以產(chǎn)生抽吸和排氣效果。
其主要結(jié)構(gòu)包括螺旋轉(zhuǎn)子，軸承、泵體、密封件等。螺旋轉(zhuǎn)子由精密動(dòng)平衡校準(zhǔn)，由軸承支撐，安裝在泵腔內(nèi)。螺釘和螺釘之間保持一定的間隙。泵工作時(shí)，無(wú)摩擦，運(yùn)行穩(wěn)定，噪音低，腔內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑油。因此，螺桿真空泵可以去除含有大量水蒸氣和少量灰塵的氣體。它具有極限真空高、功耗低、節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。
螺桿真空泵的主要結(jié)構(gòu)
上圖顯示螺桿真空泵結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單。形式上，螺桿真空泵可分為臥式和立式。根據(jù)螺旋轉(zhuǎn)子型線，的不同，可分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。根據(jù)轉(zhuǎn)子變螺距螺桿真空泵的螺距不同，單頭螺桿真空泵可分為等螺距螺桿真空泵和變螺距螺桿真空泵。變螺距螺桿真空泵可分為一級(jí)、二級(jí)和三級(jí)。
多頭型線可以一次完成吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。導(dǎo)程小，可有效減小泵的體積和重量，適用于泵速較大的領(lǐng)域。然而，它的型線很復(fù)雜，需要特殊的道具和特殊的機(jī)床，而且加工成本很高。而且，由于泄漏三角形，真空度不高，所以在市場(chǎng)上很少見(jiàn)。
單頭型線適用于中小型螺桿真空泵，市場(chǎng)上大多是單頭螺桿真空泵。恒螺距螺桿真空泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，容易排出固體顆粒和可冷凝氣體，但排氣溫度和能耗較高。變螺距螺桿真空泵腔內(nèi)壓縮，排氣溫度低，能耗低，但對(duì)粉塵顆粒和可凝氣體的耐受力不等于恒螺距。
顯示了轉(zhuǎn)子在幾個(gè)不同型線的結(jié)構(gòu)比較
螺旋轉(zhuǎn)子的三種類型
三.螺桿真空泵的工作原理
由于它起源于螺桿式壓縮機(jī)，螺桿式真空泵的工作原理與螺桿式壓縮機(jī)相似。我們用型線布爾的比喻來(lái)說(shuō)明：
1.阿司匹林
陽(yáng)轉(zhuǎn)子逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，內(nèi)螺紋順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。在圖中，轉(zhuǎn)子的上端面是吸入截面，下端面是排氣端面。
吸入過(guò)程即將開(kāi)始時(shí)轉(zhuǎn)子的位置。這時(shí)，型線在這對(duì)牙齒的前端已經(jīng)完全嚙合，并將很快與吸入口連接起來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)子開(kāi)始旋轉(zhuǎn)時(shí)，齒間容積由于齒的一端逐漸脫離而形成。齒間容積的膨脹在其內(nèi)部形成一定的真空，齒間容積僅與吸入口連通，因此氣體在壓差的作用下流入。如圖1b由陰影部分表示。在轉(zhuǎn)子，隨后的旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，陽(yáng)轉(zhuǎn)子齒連續(xù)地從雌性轉(zhuǎn)子齒的齒槽中分離，齒間容積連續(xù)地膨脹，并且齒間容積保持與吸入孔口連通。示出了吸入過(guò)程結(jié)束時(shí)的轉(zhuǎn)子位置如圖1c，其最突出的特征是齒間容積達(dá)到最大值。隨著轉(zhuǎn)子，的旋轉(zhuǎn)，牙齒之間的體積不會(huì)增加。在該位置，齒間容積與吸入孔端口斷開(kāi)，并且吸入過(guò)程結(jié)束。
2.壓縮法
順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子的上端面是吸入段，下端面是排氣端面。
壓縮過(guò)程開(kāi)始時(shí)螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子位置。此時(shí)，氣體被封閉空間中的轉(zhuǎn)子齒和外殼包圍，并且齒之間的體積將由于轉(zhuǎn)子齒的接合而開(kāi)始減小。隨著轉(zhuǎn)子，的旋轉(zhuǎn)，由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合，齒間體積不斷減小。密封在齒間容積中的氣體的占據(jù)容積也減少，導(dǎo)致壓力增加，從而實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過(guò)程如圖2b，該過(guò)程持續(xù)到齒間容積將要與排氣孔端口連通。
3.排氣過(guò)程
螺桿真空泵的排氣過(guò)程。齒間容積與排氣孔端口連通后，排氣過(guò)程開(kāi)始。隨著齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣孔口排出。
這個(gè)過(guò)程一直持續(xù)到牙齒末端的型線完全咬合。此時(shí)，齒間容積中的氣體通過(guò)排氣孔端口完全排出，并且閉合的齒間容積的容積變?yōu)榱恪?/span>
四.螺桿真空泵的應(yīng)用
螺桿真空泵不僅適應(yīng)性廣，能在惡劣條件下抽氣，而且能達(dá)到較高的真空度(0.1 ~ 1
pa)。因此，隨著半導(dǎo)體和石油化工行業(yè)的快速發(fā)展，螺桿真空泵作為一種理想的干式泵，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體和醫(yī)藥化工領(lǐng)域，如半導(dǎo)體行業(yè)的氣相沉積和刻蝕、蒸餾干燥、中間體、溶劑回收、醫(yī)藥化工行業(yè)的油氣回收等。
雖然螺桿真空泵的采購(gòu)成本由于型材技術(shù)和加工成本相對(duì)較高，但從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，其適應(yīng)性廣、效率高、節(jié)能環(huán)保、故障維修率低的特點(diǎn)，在運(yùn)行周期內(nèi)可以給企業(yè)帶來(lái)較高的綜合效益和社會(huì)環(huán)境效益，其推廣使用將是未來(lái)的趨勢(shì)。