真空系統(tǒng)是指通過(guò)管道將真空泵、真空計(jì)和各種部件以適當(dāng)?shù)姆绞竭B接起來(lái)，達(dá)到一定真空度的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是什么?
1.在泵送裝置或工作室中獲得所需的極限真空和工作真空
極限真空度是指裝置在無(wú)泄漏和放氣時(shí)達(dá)到的真空度，工作真空度是指裝置在進(jìn)行真空處理時(shí)能夠保持的真空度。在真空處理過(guò)程中經(jīng)常會(huì)釋放出大量的氣體，此時(shí)的工作真空度將大大低于極限真空度。極端真空度和工作真空度有其自身的重要性，它們從不同方面影響著器件的質(zhì)量。例如，在使用氧化物陰極裝置的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2電極除氣和陰極分解將產(chǎn)生大量除氣。如果工作真空度差，電極可能被氧化，陰極可能活化不好。然而，當(dāng)裝置最終被密封時(shí)，基本上沒(méi)有泄漏和放氣，并且裝置中的真空度取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。
2.獲得一定工作真空度所需的時(shí)間
這個(gè)時(shí)間取決于真空系統(tǒng)機(jī)組的抽吸速度。提高泵送速度可以縮短這一時(shí)間。大型工作室顯然需要大的泵速。有時(shí)工作間不大，但由于泄漏和放氣嚴(yán)重，真空系統(tǒng)也需要較大的抽氣速度，否則大量的泄漏和放氣會(huì)大大降低真空度，使系統(tǒng)無(wú)法工作。
3.泵送裝置或工作室中有合適的殘留氣體成分
實(shí)踐證明，僅僅提高和保證極限真空度和工作真空度是不夠的，還需要對(duì)殘余氣體成分有一定的要求。例如，對(duì)于真空攝像裝置，為了在一年的使用壽命內(nèi)保持靈敏度降低不超過(guò)巧合，要求裝置中殘留氣體的氧含量不高于10-2Pa。耐高壓真空開(kāi)關(guān)管不應(yīng)含有碳?xì)浠衔锓肿拥取Ｈ绻到y(tǒng)中沒(méi)有其他氣源，真空系統(tǒng)的殘余氣體成分主要取決于泵的特性。
4.真空系統(tǒng)還必須具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠、操作維護(hù)方便、價(jià)格低廉等特點(diǎn)。
為了滿足這些要求，必須綜合考慮泵的選擇、管道尺寸的確定和布置以及組裝過(guò)程。這些基本要求通常是相互關(guān)聯(lián)的。例如，真空系統(tǒng)中總是有輕微的泄漏，所以泵速高的泵可以獲得比泵速低的泵更好的工作真空度。然而，大型水泵價(jià)格昂貴，消耗大量的水和電，所以有一個(gè)合理的選擇。微型真空泵適用于儀器和小型真空系統(tǒng)。它們成本低、效率高、噪音低。有些用戶不適合選擇流量較大的工業(yè)真空泵。
5.自動(dòng)化要求
隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，用戶對(duì)真空系統(tǒng)自動(dòng)化的要求也在不斷提高。對(duì)于真空系統(tǒng)，自動(dòng)控制主要是調(diào)節(jié)真空泵流量和真空度。真空度通常通過(guò)調(diào)節(jié)真空泵流量、安裝節(jié)流閥和減壓閥來(lái)控制。節(jié)流會(huì)導(dǎo)致巨大的能量損失和額外的噪音。最好直接調(diào)節(jié)真空泵的轉(zhuǎn)速。工業(yè)真空泵的調(diào)速方法有很多種，主要分為兩類(lèi):第一類(lèi)是通過(guò)附加裝置來(lái)改變真空泵的速度，如齒輪箱調(diào)速;第二類(lèi)是直接改變電機(jī)的速度，如可控硅串級(jí)調(diào)速、變頻調(diào)速等。目前工業(yè)真空泵常用的方法是變頻調(diào)速，節(jié)能效果好，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)調(diào)速，調(diào)速比大，調(diào)速準(zhǔn)確，速度穩(wěn)定。
對(duì)于適用于小型真空系統(tǒng)的微型真空泵，過(guò)去主要采用減壓調(diào)速。減壓操作的副作用是延長(zhǎng)泵和電機(jī)的使用壽命。如果泵的負(fù)載很大，很容易導(dǎo)致電機(jī)在降壓后無(wú)法啟動(dòng)，導(dǎo)致電機(jī)溫度下降
一般來(lái)說(shuō)，對(duì)于具有良好氣密性的真空系統(tǒng)，如果內(nèi)部沒(méi)有定期放氣和蒸汽源，則可以使用具有良好最終真空度的較小泵。但是，如果系統(tǒng)的泄漏和放氣更多，必須采用提高泵速的方法來(lái)保證系統(tǒng)的真空度。此時(shí)，應(yīng)采用泵速較大的泵，并盡可能增加管道的傳導(dǎo)率，即應(yīng)選擇短而粗的管道。